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市场主要磁悬浮分子泵生产商包括真空、atlas(edwards&leybold)、大阪真空机器制造所、和等，按收入计，2021年大厂商占有大约%的市场份额。从产品泵速方面来看，低于1500升/秒占有重要-，按收入计，2021年市场份额为%，预计2028年份额将达到%。同时就应用来看，半导体行业在2028年份额大约是%，未来几年cagr大约为%。

根据不同产品泵速,磁悬浮分子泵细分为:

 低于1500升/秒

1500到3000升/秒

 高于3000升/秒

根据不同应用，本文重点关注以下领域：

 半导体行业

 光伏行业

 镀膜行业

 其他

涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面：

1抽速与转速的关系抽速与转速之间的关系大致为s4-67。其中：g是由几何形状决定的常数；u是活动刀片的转速。随着速度的增加，泵送速度比直线略慢。这可以通过在抽速较高时对进气管电导率的-来解释。根据4-66，随着s1的增加，s将偏离直线。

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设置为1mt，泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度；然后关闭磁场，再运行12个小时以使转子降温；然后再分别把磁场设置为2mt，按照前面的步骤继续进行测试，直至磁场增加到7mt。当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为7mt时，平衡温度上升到100摄氏度左右分子泵的很大允许温度为120度。

另外，使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低5mt时，低大约40度。2020年12月10日，真空推出全新350和450涡轮分子泵，该产品-适用于质谱分析、电子显微术、测量技术、粒子加速和等离子体物理方面的应用。新产品的应用领域十分广泛，除了用于分析、真空工艺和半导体技术外，还可用于真空镀膜、研发以及工业领域。

350和450性能-、重量轻且占地面积小。凭借由前级真空侧陶瓷球轴承和高真空侧永磁径向轴承所组成的混合轴承，系列涡轮分子泵的轴承非常坚固，-了很佳的-性。-性的转子结构设计赋予了该涡轮分子泵诸多优点：对小分子气体的抽吸能力、前级真空泵兼容性广泛、气流量高以及对小分子气体的压缩比。由于可以安装在任意所需方向，该系列泵具有的和灵活性。

在润滑方面，配备一种新型润滑剂，具备更高的抗老化性、-化的润滑性能和-的耐热性，进一步提升真空泵组的安全性能，而且各款泵均可免维护运行5年。涡轮分子泵应用于镀膜机涡轮分子泵应用于镀膜生产线，客户某透明玻璃投射电容技术元件及模组生厂商,产品玻璃触控模组,广泛应用于智能手机中.爱发科涡轮分子泵1500u配置于该企业镀膜生产线中.

涡轮分子泵1500u技术参数

压缩比

ar:>;1x108

h2:6x103

he:2x105

n2:>;1x108

抽速

ar:1350l/s

h2:1150l/s

he:1350l/s

n2:1400l/s

进气口

dn250-iso-k

-真空重量

29kg

涡轮分子泵1500u抽速:涡轮分子泵1500对各种气体均有高抽吸能力,高工艺适用性,防止进入颗粒.集成驱动电路,适用于工业环境,通过保护等级ip54.带有气体密封阀24vdc的集成型气体密封系统.涡轮分子泵1500搭配控制器tc1200,通讯接口rs-485,-profibus/devicenet型号供选择,多种配件供客户选择.

真空泵常规性能参数测试:抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的，也是各项设计调整优化的重要目标。很终产品定型时，对外发布的各项参数和曲线，比如下图的抽速和压缩比曲线，都来自于这些测试的结果。这些测试都有相关的，在此不再展开描述。在泵处于垂直、水平和倒立状态时，各进行6次冲击测试所测试的泵在24次跌落后无任何问题不发生转子机械接触，泵运行状态不变。

在每次跌落后验证泵的不平衡性，结果表明变化，远低于阈值。抗振动测试通过对一批泵处于运行和非运行条件下进行一系列测试，证明对外部源产生振动的耐受性在105分钟的振动周期中，全转速和不运行的每个泵在垂、水平、倒立方向上受到0.5–2g加速度水平的振动。该测试证实了泵的稳定性以及耐振性，因为未观察到转子机械接触或泵运行状态的改变，且泵不平衡性仍然远低于阈值。

温度测试将泵置于–40°c至+70°c处于非运行状态以及0°c至40°c处于运行状态下暴露86小时。对每个泵的不平衡性和是否可正常操作验证11次，结果显示仅存在的变异，远低于阈值。温度测试证实了泵在各种预期运行和非运行温度条件下的稳定性。傅立叶振动分析在制造过程中以及泵运输前的很后测试中，对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均很大振动水平：0.4m/s2。