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莱宝分子泵维修维护信息

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2025-1-17

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莱宝leybold turbovac mag w 3200涡轮分子泵

turbovac mag w 3200 c/ct常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业，涡轮分子泵用于以下应用场合：- 蚀刻；- 溅射；- 离子注入；- cvd；- 光刻。这些应用中，经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵，以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻，涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象，选用带温度控制的扩展附件在mag 1500 c、mag 2000 c、mag2800和mag 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比，磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热，能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。

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广州潽拓光电科技有限公司维修，德国莱宝leybold turbovac 1100c涡轮分子泵，简称为leybold tmp1100c， oerlikon leybold tmp1100c turbo pump是德国为镀膜行业设计的，转速为30000rpm，又称为leybold turbovac 1100。

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leybold t1600分子泵是leybold为玻璃镀膜行业设计的，广州潽拓光电科技有限公司*业从事leybold t1600涡轮分子泵的维修工作

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